Cantilever-based detector device and method of manufacturing such a device


Tipo: 
Europea
Num. Solicitud: 
EP20050380137
Data Solicitut: 
Vie, 2005-06-24 10:00
Num. Publicación: 
EP1736804 (A1)
Fecha Solicitud: 
Miércoles, December 27, 2006 - 10:00
Inventor: 
LECHUGA GOMEZ [ES]; ZINOVIEV KIRILL [ES]; DOMINGUEZ HORNA CARLOS [ES]; PLAZA PLAZA JOSE ANTONIO [ES]; CADARSO BUSTO VICTOR JAVIER [ES]
Solicitante: 
Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Autores del GTQ: 
IPC: 
G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00
Num. Prioridad: 
EP20050380137
Priority Date: 
Viernes, June 24, 2005 - 00:00
Estado: 
Agotada