Introduction to Micro/Nanofabrication


AU: 
Ziaie, B; Baldi, A; Atashbar, MZ
SO: 
Nanotechnology Handbook, B. Bhushan (ed.) Springer-Verlag, Berlin, 2004 (1ª Edición), 2007 (2ª Edición), 2010 (3ª Edición)
Autores del GTQ: 
PY: 
2010
DT: 
Capítol de llibre