Dimension dependence of the thermomechanical noise of microcantilevers


AU: 
Alvarez, M.; Tamayo, J.; Plaza, J.A.; Zinoviev, K.; Dominguez, C.; Lechuga, L.M.
SO: 
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Autores del GTQ: 
VL: 
99
IS: 
2
PY: 
2006
SN: 
0021-8979
Impact: 
2.32
Año IF: 
2006
Resumen: 

Thermomechanical noise determines the lowest detection limits of microcantilever-based devices for measuring forces and surface stress variations. In this work, arrays of 334-nm-thick single-crystalline silicon microcantilevers with dissimilar lengths and

DT: 
Article en revistes indexades
Percentil: 
HIGH
Año Percentil: 
2006
Categoría: 
PHYSICS, APPLIED