Chalcogenide glass-based rib ARROW waveguide


AU: 
Balan, V.; Vigreux, C.; Pradel, A.; Llobera, A.; Dominguez, C.; Alonso, M.I.; Garriga, M.
SO: 
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS
Autores del GTQ: 
VL: 
326
BP: 
455
EP: 
459
PY: 
2003
SN: 
0022-3093
Impact: 
1.56
Año IF: 
2003
Resumen: 

This work is focused on the fabrication of a chalcogenide rib ARROW structure. Three chalcogenide films of two different compositions (Ge33As12Se55 and Ge28Sb12Se60) were stacked on a silicon substrate, and the upper layer etched by a reactive physical pr

DT: 
Article en revistes indexades
Percentil: 
HIGH
Año Percentil: 
2003
Categoría: 
MATERIALS SCIENCE, CERAMICS