Stoichiometry of silicon-rich dielectrics for silicon nanocluster formation


AU: 
Barreto, J; Morales, A; Perálvarez, M; Garrido, B; Domínguez; C
SO: 
Physica Status Solidi
GTQ Authors: 
VL: 
8
IS: 
3
BP: 
804
EP: 
807
PY: 
2011
DT: 
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