Cantilever-based detector device and method of manufacturing such a device


Tipus: 
Europea
Num. Solicitut: 
EP20050380137
Data Solicitut: 
Dv, 2005-06-24 10:00
Num. Publicació: 
EP1736804 (A1)
Data Sol·licitud: 
Dimecres, December 27, 2006 - 10:00
Inventor: 
LECHUGA GOMEZ [ES]; ZINOVIEV KIRILL [ES]; DOMINGUEZ HORNA CARLOS [ES]; PLAZA PLAZA JOSE ANTONIO [ES]; CADARSO BUSTO VICTOR JAVIER [ES]
Sol·licitant: 
Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Autors del GTQ: 
IPC: 
G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00G02B6/00; B81B3/00; G01H9/00
Num. Prioritat: 
EP20050380137
Priority Date: 
Divendres, June 24, 2005 - 00:00
Estat: 
Agotada