Dispositius de silici
El nostre GTQ ha desenvolupat les eines necessàries (simulació, disseny, fabricació i caracterització) per a passar d'una tecnologia microelectrònica a una tecnologia d'òptica integradautilitzant el silici com a material base.
D'aquesta manera s'han realitzat elements òptics passius (guies, divisors 3 dB, acobladors direccionals, filtres ...), transductors optoquímicos i biosensors interferomètrics.
Així mateix, utilitzant l'òxid de silici ric en silici s'han fabricat estructures emissores de llum en la regió del visible.
